发明名称 METHOD FOR TREATING EXHAUST GAS CONTAINING FLUORINE-CONTAINING INTERHALOGEN COMPOUND AND TREATING AGENT AND TREATING APPARATUS
摘要 <p>불화 할로겐을 포함하는 배기가스를 효율 좋고, 발열에 의한 온도상승이나 물의 생성에 의한 처리통 폐색 등의 위험 없이 처리한다. 불화 할로겐을 처음으로 불소성분의 반응처리제와 접촉시키고, 다음으로 할로겐 성분의 반응처리제와 접촉시키는 처리방법 및 처리제와 내통과 외통의 이중 구조를 가지는 처리장치의 내통에 불소성분의 반응처리제를 충전하고, 외통에 할로겐 성분의 반응처리제를 충전하고, 또한 불화 할로겐을 포함하는 배기가스를 내통에 공급하고, 내통으로부터 외통의 순으로 유통시킨 후, 외통으로부터 배출되는 것에 의한 불화 할로겐을 포함하는 배기가스의 처리방법.</p>
申请公布号 KR20000062165(A) 申请公布日期 2000.10.25
申请号 KR19990051491 申请日期 1999.11.19
申请人 发明人
分类号 B01D53/34;B01D53/68;B01D53/81;C01B7/24;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 B01D53/34
代理机构 代理人
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