| 发明名称 |
A CARRIER HEAD INCLUDING A FLEXIBLE MEMBRANE AND A COMPLIANT BACKING MEMBER FOR A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1045740(A1) |
申请公布日期 |
2000.10.25 |
| 申请号 |
EP19980956647 |
申请日期 |
1998.11.06 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
CHEN, HUNG;ZUNIGA, STEVEN, M. |
| 分类号 |
B24B37/00;B24B37/04;B24B41/06;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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