| 发明名称 |
REGRESSION CALIBRATED SPECTROSCOPIC ROTATING COMPENSATOR ELLIPSOMETER SYSTEM WITH PHOTO ARRAY DETECTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1038165(A4) |
申请公布日期 |
2000.10.25 |
| 申请号 |
EP19980907397 |
申请日期 |
1998.02.02 |
| 申请人 |
J.A. WOOLLAM CO. INC. |
发明人 |
JOHS, BLAINE D.;THOMPSON, DANIEL W. |
| 分类号 |
G01J3/28;G01J3/447;G01J4/00;G01N21/21;(IPC1-7):G01N21/21 |
主分类号 |
G01J3/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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