发明名称 Photoresist composition containing photo base generator with photo acid generator
摘要
申请公布号 GB0022375(D0) 申请公布日期 2000.10.25
申请号 GB20000022375 申请日期 2000.09.13
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人
分类号 C08F222/06;C08K5/02;C08K5/29;C08K5/32;C08K5/41;C08L35/00;C08L101/00;G03F7/00;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/312 主分类号 C08F222/06
代理机构 代理人
主权项
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