| 发明名称 | 清洗多孔体和制造多孔体,非多孔膜或键合衬底的方法 | ||
| 摘要 | 为了在短时间清洗多孔体而不使它的结构发生任何变化,提供一种清洗通过阳极氧化形成的多孔体的清洗方法,利用包含至少一种醇和乙酸的清洗溶液,在阳极氧化后清洗多孔体。 | ||
| 申请公布号 | CN1271175A | 申请公布日期 | 2000.10.25 |
| 申请号 | CN00108662.6 | 申请日期 | 2000.03.24 |
| 申请人 | 佳能株式会社 | 发明人 | 山方憲二;松村聡 |
| 分类号 | H01L21/02;B08B3/08;B08B3/12 | 主分类号 | H01L21/02 |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.清洗阳极氧化形成的多孔体的方法，包括，利用包含醇和乙酸的至少一种的清洗溶液，在完成阳极氧化后清洗多孔体的步骤。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||