| 摘要 |
<p>본 고안은 수많은 화소를 가진 광학 다채널 분석기(OMA, Optical Multichannel Analyzer)를 이용하여 박막 성장과정을 실시간 그리고 고속 분광측정이 가능하도록 자동화하므로써 실시간 실험의 편의성 및 정밀도를 크게 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라, 시료에 입사되는 빛의 입사각을 변화시킬 수 있어 원하는 입사각에서 박막 성장과정의 실시간 측정이 가능한 고속 분광타원해석기에 관한 것으로서, 중앙부에 고정축(10)이 종설되며 상기 고정축(10)을 중심으로 일측에 회전용 광학벤치(20)가 설치되며 타측에 고정용 광학벤치(30)가 설치되는 프레임(40); 전원공급장치(25)가 연결된 방전램프(21), 일측에 제 1광학 엔코더가 부설된 회전 편광자(22) 및 제 1조리개(23)가 설치되며, 일측부에 고정부 및 미세 회전 조절부(24)를 구비한 상기 회전용 광학벤치(20); 전자제어부가 연결되는 수광부, 일측에 제 2광학 엔코더가 부설된 검광자(31) 및 제 2조리개(32)가 설치되는 상기 고정용 광학벤치(30); 그리고 상부에 시료장착대(50)가 설치되는 상기 고정축(10)으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.</p> |
