| 摘要 |
<p>본 고안은 반도체 웨이퍼 건조장비의 웨이퍼 정렬감지장치에 관한 것으로, 글로브(12)가 형성된 몸체(11)와, 이 몸체(11)의 상면 일측에 개폐 가능하도록 설치되는 커버(13)와, 상기 몸체(11)의 상면에 캐리어가 안착되도록 설치되는 크래들(14)과, 상기 글로브(12)에 삽입 설치되어 크래들(14)을 회전시키는 로터(15)를 포함하여 구성된 반도체 웨이퍼 건조장비에 있어서, 상기 커버(13)의 저면에 광센서(21)를 부착하고, 상기 로터(15)의 하면에는 상기 광센서(21)의 위치와 대응되도록 반사판(22)을 설치함으로써 공정을 진행하기 전에 웨이퍼의 정렬상태를 확인함으로써 공정 진행시 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있게 된다.</p> |
