发明名称 METHOD OF FORMING INTERLAYER INSULATING FILM, CHEMICAL VAPOR GROWTH SYSTEM AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR20000062493(A) 申请公布日期 2000.10.25
申请号 KR1020000003030 申请日期 2000.01.22
申请人 发明人
分类号 主分类号
代理机构 代理人
主权项
地址
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