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发明名称 Method of treating an insulating layer
摘要
申请公布号 GB0022050(D0) 申请公布日期 2000.10.25
申请号 GB20000022050 申请日期 2000.02.24
申请人 TRIKON HOLDINGS LIMITED 发明人
分类号 H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/316;H01L21/768 主分类号 H01L21/3105
代理机构 代理人
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