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发明名称 METHOD OF MONITORING A PHOTOLITHOGRAPHIC PROCESS
摘要
申请公布号 EP0861457(B1) 申请公布日期 2000.10.25
申请号 EP19970929446 申请日期 1997.07.15
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 ZANDBERGEN, PETER;JUFFERMANS, CASPARUS, ANTHONIUS, HENRICUS;GEHOEL-VAN ANSEM, WENDY, FRANCISCA, JOHANNA
分类号 G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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