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发明名称 Method and device for treating a semiconductor surface
摘要
申请公布号 KR20000062399(A) 申请公布日期 2000.10.25
申请号 KR19997005991 申请日期 1999.06.30
申请人 null, null 发明人 브리앙,장-삐에르
分类号 B82B3/00;B81C1/00;C23C14/04;C23C16/04;H01J37/30;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/314;H01L21/316 主分类号 B82B3/00
代理机构 代理人
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