背部反射体层及其形成方法和应用它的光电元件

摘要

一种有纹理结构的背部反射体层，和形成它的方法。由于防止了底部金属或合金的氧化，这种背部反射体层有高的反射率。进一步的目的是提供一种性能优良的光电元件制造它的工艺过程。这种背部反射体层具有一种金属或合金和形成于其上的一种第二金属的透明氧化物。一种光电元件，它是在这种背部反射体层之上形成半导体结合体而形成的。

主权项

1.一种背部反射体层，它有一种金属或合金作为其第一金属，和形成在其上边的含有第二金属的一种透明氧化物，其中上述的第二金属的电子亲合力至少比上述的第一金属的电子亲合力小0.46电子伏特，上述的透明氧化物是通过溅射方法在至少含有H2O和一种惰性气体的气体环境中，并用一种含有上述第二金属的成份比例为其化学计算成份10.6-1.2倍的靶，形成的。