发明名称 |
A CARRIER HEAD WITH A REMOVABLE RETAINING RING FOR A CHEMICAL MECHANICAL POLISHING APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
EP1045741(A1) |
申请公布日期 |
2000.10.25 |
申请号 |
EP19980956661 |
申请日期 |
1998.11.06 |
申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
CHEN, HUNG;ZUNIGA, STEVEN, M. |
分类号 |
B24B37/00;B24B37/04;B24B41/06;H01L21/304;(IPC1-7):B24B37/04 |
主分类号 |
B24B37/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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