发明名称 静电放电保护装置之结构
摘要 一种静电放电保护装置之结构。此结构包括静电放电保护电路中之电晶体以及将电晶体连接于电路之复数个接触窗。其中,电晶体的结构包括闸极、分别位于闸极两侧之源极与汲极,以及复数个隔离结构。其中,每一个隔离结构皆穿越闸极,将源极与汲极区分成复数个导电区域,或是有部分突出于源极与汲极中。
申请公布号 TW409348 申请公布日期 2000.10.21
申请号 TW088107008 申请日期 1999.04.30
申请人 联华电子股份有限公司 发明人 唐天浩;徐振聪
分类号 H01L21/76;H01L23/60 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种静电放电保护装置之结构,此结构包括: 一闸极; 一汲极,位于该闸极之一侧; 一源极,位于该闸极之另一侧,其中该闸极、该汲 极与该源极组成一电晶体; 复数个隔离结构,该些隔离结构穿越该闸极,且该 些隔离结构将该汲极与该源极区分成复数 个导电区域;以及 复数个接触窗,连接于该闸极、该源极与该汲极。 2.如申请专利范围第1项所述之静电放电保护装置 之结构,其中位于该汲极的每一该些导电 区域中都具有该些接触窗之一。3.如申请专利范 围第1项所述之静电放电保护装置之结构,其中该 些隔离结构包括场氧化层 。4.如申请专利范围第1项所述之静电放电保护装 置之结构,其中该些隔离结构包括浅沟渠隔 离。5.如申请专利范围第1项所述之静电放电保护 装置之结构,其中,位于该源极与该闸极之该 些接触窗连接于一接地线与一电压线其中之一。6 .如申请专利范围第1项所述之静电放电保护装置 之结构,其中,位于该汲极之该些接触窗 连接于一晶片输入线。7.一种静电放电保护装置 之结构,此结构包括: 一闸极; 一汲极,位于该闸极之一侧; 一源极,位于该闸极之另一侧,其中该闸极、该汲 极与该源极组成一电晶体; 复数个隔离结构,该些隔离结构穿越该闸极,且 该些隔离结构突出于该汲极与该源极中;以及 复数个接触窗,连接于于该闸极、该源极与该汲极 。8.如申请专利范围第7项所述之静电放电保护装 置之结构,其中该些隔离结构包括场氧化层 。9.如申请专利范围第7项所述之静电放电保护装 置之结构,其中该些隔离结构包括浅沟渠隔 离。10.如申请专利范围第7项所述之静电放电保护 装置之结构,其中,位于该源极与该闸极之该 些接触窗连接于一接地线与一电压线其中之一。 11.如申请专利范围第7项所述之静电放电保护装置 之结构,其中,位于该汲极之该些接触窗 连接于一晶片输入线。图式简单说明: 第一图A与第一图B绘示习知二种静电放电保护电 路之示意图; 第一图C绘示习知一种静电放电保护电路中之电晶 体结构的上视图; 第二图绘示依照本发明之较佳实施例一种静电放 电保护电路中之电晶体结构的上视图; 以及 第三图绘示依照本发明之较佳实施例之另一种静 电放电保护电路中之电晶体结构的上视 图。
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