发明名称 SEMICONDUCTOR GAS SENSOR WITH HOUSING AND METHOD FOR MEASURING OF GAS CONCENTRATIONS
摘要 Ein Halbleiter-Gassensor, beispielsweise zur Messung von CO, NOX, O3, usw., weist ein beheizbares Sensorelement (1) zur Messung von Gaskonzentrationen auf, sowie ein Gehäuse (2), in dessen Innenraum (20) das Sensolement (1) angeordnet ist. Das Gehäuse (2) hat eine erste Öffnung (3), die den Innenraum (20) mit dem Aussenraum verbindet. In dem Gehäuse (2) sind eine oder mehrere zweite Öffnungen (4a, 4b) angeordnet, die tiefer liegen als die erste Öffnung (3), so dass ein Gasstrom von der zweiten Öffnung (4a, 4b) zur ersten Öffnung (3) durch Konvektion angetrieben wird. Der Halbleiter-Gassensor kann aus Silizium in Mikrotechnologie gefertigt werden.
申请公布号 WO0062056(A1) 申请公布日期 2000.10.19
申请号 WO2000DE01105 申请日期 2000.04.11
申请人 DAIMLERCHRYSLER AG;MUELLER, GERHARD;BECKER, THOMAS 发明人 MUELLER, GERHARD;BECKER, THOMAS
分类号 G01N1/22;G01N27/12;G01N33/00;(IPC1-7):G01N33/00 主分类号 G01N1/22
代理机构 代理人
主权项
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