摘要 |
Ein Halbleiter-Gassensor, beispielsweise zur Messung von CO, NOX, O3, usw., weist ein beheizbares Sensorelement (1) zur Messung von Gaskonzentrationen auf, sowie ein Gehäuse (2), in dessen Innenraum (20) das Sensolement (1) angeordnet ist. Das Gehäuse (2) hat eine erste Öffnung (3), die den Innenraum (20) mit dem Aussenraum verbindet. In dem Gehäuse (2) sind eine oder mehrere zweite Öffnungen (4a, 4b) angeordnet, die tiefer liegen als die erste Öffnung (3), so dass ein Gasstrom von der zweiten Öffnung (4a, 4b) zur ersten Öffnung (3) durch Konvektion angetrieben wird. Der Halbleiter-Gassensor kann aus Silizium in Mikrotechnologie gefertigt werden.
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