TELESCOPE-TYPE MICRO-MANIPULATOR COMPRISING PIEZOELECTRIC MATERIALS

摘要

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Bewegung eines Objektes (5) mit wenigstens zwei getrennt elektrisch ansteuerbaren piezoelektrischen Bewegungselementen (1, 2, 3) und einer Wirkverbindung (4) zwischen den piezoelektrischen Bewegungselementen derart, dass sich die resultierenden Längenänderungen der piezoelektrischen Bewegungsmittel zu einer Gesamtlänge so addieren können, dass die maximal mögliche Länge der Bewegung in einer Dimension grösser ist als die maximal mögliche Längenänderung eines einzelnen piezoelektrischen Bewegungsmittels. Insbesondere wirken die piezoelektrischen Bewegungselemente teleskopartig. Es kann so der nachteilhafte Einsatz von langen Piezokristallen vermieden werden, um relativ grosse Bewegungen auszuführen. Das teleskopartige Zusammenwirken ermöglicht sehr kompakte Bauweisen.