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发明名称 METHOD FOR CONTINUOUS AND MASKLESS PATTERNING OF STRUCTURED SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP1044396(A1) 申请公布日期 2000.10.18
申请号 EP19980920179 申请日期 1998.05.04
申请人 MINNESOTA MINING AND MANUFACTURING COMPANY 发明人 MOSHREFZADEH, ROBERT, S.;POKORNY, RICHARD, J.;PADIYATH, RAGHUNATH;WIRTH, WAYNE, M.
分类号 G03F7/09;G03F7/40;G02F1/1339;G02F1/1343;G03F7/00;H01L21/304;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
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