| 发明名称 |
WET PROCESSING METHODS FOR THE MANUFACTURE OF ELECTRONIC COMPONENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1044465(A1) |
申请公布日期 |
2000.10.18 |
| 申请号 |
EP19980962020 |
申请日期 |
1998.12.09 |
| 申请人 |
CFMT, INC. |
发明人 |
VERHAVERBEKE, STEVEN;MCCONNELL, CHRISTOPHER, F. |
| 分类号 |
A61L9/00;B08B7/00;C23F1/00;C23F1/14;C23G1/00;C23G1/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
A61L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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