发明名称 Method for manufacturing DRAM cell capacitor
摘要
申请公布号 GB2349015(A) 申请公布日期 2000.10.18
申请号 GB20000004163 申请日期 2000.02.22
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOO SANG * HWANG;SANG-HO * SONG;BYUNG-JUN * PARK;TAE YOUNG * CHUNG
分类号 H01L21/02;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/02;H01L21/824 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址