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发明名称 IN SITU WAFER CLEANING PROCESS
摘要
申请公布号 EP1044468(A1) 申请公布日期 2000.10.18
申请号 EP19980965509 申请日期 1998.12.28
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 WILSON, GREGORY, M.;LOTTES, CHARLES, R.
分类号 H01L21/304;H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
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