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发明名称 DEPOSITED-FILM FORMING PROCESS AND DEPOSITED-FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100269936(B1) 申请公布日期 2000.10.16
申请号 KR19960069916 申请日期 1996.12.21
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 KOICHIRO, MORIYAMA;HIROSHI, ECHIZEN;MASAHIRO, KANAI;HIROKAZU, OHTOSHI;TAKEHITO, YOSHINO;ATSUSHI, YASUNO;KOHEI, YOSHIDA;YUSUKE, MIYAMOTO
分类号 C23C16/44;C23C16/50;C23C16/511;C23C16/54;H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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