ELECTRONIC BEAM EXCITED PLASMA PRODUCING DEVICE,申请号KR19980021457-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	ELECTRONIC BEAM EXCITED PLASMA PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号	KR100267824(B1)	申请公布日期	2000.10.16
申请号	KR19980021457	申请日期	1998.06.10
申请人	KAWASAKI JUKOGYO KK.	发明人	RYOJI, MAKOTO;TOHKAI, MASAKUNI;MORI, YUKITAKA;HASEGAWA, TAKESHI;BAN, MASAHITO
分类号	H05H1/46;C23C14/32;C23F4/00;H01J27/20;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/205;H01L21/302;H05H1/24;(IPC1-7):H05H1/24	主分类号	H05H1/46
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