| 发明名称 |
SELF-ALIGNED CONTACT AND METHOD OF FABRICATING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100268431(B1) |
申请公布日期 |
2000.10.16 |
| 申请号 |
KR19980032086 |
申请日期 |
1998.08.06 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
PARK, BYUNG JUN |
| 分类号 |
H01L23/522;H01L21/28;H01L21/60;H01L21/768;H01L21/8242;H01L27/108;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L23/522 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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