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发明名称
摘要
申请公布号	JP3098289(B2)	申请公布日期	2000.10.16
申请号	JP19910259541	申请日期	1991.10.08
申请人		发明人
分类号	H01L21/324;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/324	主分类号	H01L21/324
代理机构		代理人
主权项
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