| 摘要 |
<p>본 고안은 전자빔을 효율적으로 집속하고 제어할 수 있도록 한 초고주파 발생 장치에 관한 것이다. 본 고안의 초고주파 발생 장치는 원통형의 가열 수단 내측에 설치되어 진공 중에 전자를 방출시키는 원통형 캐소드와; 상기 원통형 캐소드 내측에 마련되어 상기 전자를 전자빔으로 변환시키기 위한 복수개의 슬롯을 구비한 원통형 제 1 그리드와; 상기 원통형 제 1 그리드 내측에 상기 원통형 제 1 그리드와 다소 어긋나게 설치되어 상기 원통형 제 1 그리드의 슬롯을 통과한 전자빔을 다시 통과시키는 복수개의 슬롯을 구비한 원통형 제 2 그리드와; 상기 원통형 제 2 그리드의 슬롯을 통과한 전자빔을 수신하는 톱니바퀴 형상의 애노드와; 상기 원통형 제 2 그리드와 애노드에 의해 둘러싸여 이루어지며 상기 원통형 캐소드 및 원통형 제 1 그리드와 절연되어 있는 초고주파 에너지를 발생시키는 진공의 원통형 출력 공동; 및 상기 원통형 출력 공동에서 발생된 초고주파 에너지를 출력시키는 출력 포트를 구비하여 이루어진다. 나아가, 상기 애노드 내부에 형성되어 상기 전자빔이 상기 애노드에 부딪힐 때 발생되는 열을 식히는 기능을 하는 냉각 수단을 더 구비하여 이루어지며, 상기 냉각 수단의 내부에는 냉각수를 포함하는 냉각 유체나 공기를 포함하는 냉각 기체가 흐르도록 하는 것을 특징으로 한다.</p> |
