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发明名称 PRIMARY FLOW CVD APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 KR100267520(B1) 申请公布日期 2000.10.16
申请号 KR19937003234 申请日期 1993.10.25
申请人 SILICON VALLEY GROUP, INC. 发明人 LEARN, ATRHUR;DU BOIS, DALE R.;MILLER, MICHOLAS E.;SEILHEIMER, RICHARD A.
分类号 C23C16/44;C23C16/452;C23C16/455;C23C16/52;H01L21/205;(IPC1-7):C23C16/02 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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