| 摘要 |
<p>본 고안은 스테퍼 장비의 웨이퍼 스테이지 안내장치에 관한 것으로 엑스 스테이지와 와이 스테이지의 상면에 형성된 엑스측, 와이측 가이드의 상면 그리고, 웨이퍼 스테이지와 엑스 스테이지 하면의 구조를 각각 변경하여 상기 웨이퍼 스테이지가 엑스 스테이지와 와이 스테이지에 의해 엑스(X)축 방향과 와이(Y)축 방향으로 원활하게 이동됨과 함께 스테퍼 장비를 장시간 사용할 수 있으므로 웨이퍼의 노광작업시 작업효율이 향상되도록 한 것이다. 이를 위해, 본 고안은 웨이퍼가 얹혀지는 웨이퍼 스테이지(1)의 하면에 설치되어 상기 웨이퍼 스테이지(1)를 X축 방향으로 이동시키는 엑스 스테이지(2)와, 상기 엑스 스테이지(2)의 하면에 설치되어 웨이퍼 스테이지(1)를 Y축 방향으로 이동시키는 와이 스테이지(3)와, 상기 엑스 스테이지(2)와 와이 스테이지(3)의 상면에 각각 형성된 엑스측 가이드부(9) 및 와이측 가이드부(10)와, 상기 웨이퍼 스테이지(1)의 하면과 엑스 스테이지(2)의 상, 하면 및 와이 스테이지(3)의 상면에 각각 설치되어 접동면(8a)(18a)(28a)이 형성된 복수개의 접동부(8)(18)(28)가 구비된 스테퍼 장비에 있어서, 상기 웨이퍼 스테이지(1)와 엑스 스테이지(2)의 하면에는 웨이퍼 스테이지(1)의 하방을 향하는 돌기부(101)를 각각 형성하고, 상기 각 돌기부(101)의 하면은 외측부에서 중앙부로 갈수록 오목하게 형성하며, 상기 엑스측 가이드부(9)와 와이측 가이드부(10)의 상면은 각 돌기부(101)의 하면과 밀착되도록 외측부에서 중앙부로 갈수록 볼록하게 형성하여서 된 것이다.</p> |
