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发明名称
METHOD FOR FORMING SILICIDE
摘要
申请公布号
KR100267399(B1)
申请公布日期
2000.10.16
申请号
KR19980037124
申请日期
1998.09.09
申请人
ANAM SEMICONDUCTOR., LTD.
发明人
GANG, JUNG-HO
分类号
H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/336
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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