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发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR100270131(B1) 申请公布日期 2000.10.16
申请号 KR20000010275 申请日期 2000.02.29
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 AOYAMA,TAKASHI;OKAWA, KASHUHIRO;MOZISHUKI, YASHUHIRO;MONMA, NAOHIRO;USAMI, KAZHIRO
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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