| 发明名称 |
METHOD OF FABRICATING AN ALUMINIUM PLUG USING SELECTIVE CHEMICAL VAPOR DEPOSITION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100269814(B1) |
申请公布日期 |
2000.10.16 |
| 申请号 |
KR19960063135 |
申请日期 |
1996.12.09 |
| 申请人 |
UNITED MICROELECTRONICS CORP. |
发明人 |
SHI-CHUNG SUN;HIEN-TIEN CHIU;MING-HSING TSAI |
| 分类号 |
H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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