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发明名称 HAFTSCHICHT FÜR DIE ABSCHEIDUNG VON WOLFRAM
摘要
申请公布号 AT196513(T) 申请公布日期 2000.10.15
申请号 AT19960109031T 申请日期 1996.06.05
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 RAAIJMAKERS, IVO
分类号 C23C16/02;C23C8/02;C23C8/36;C23C14/58;C23C16/511;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):C23C14/58 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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