| 发明名称 |
METODO PER AUMENTARE LA PRODUTTIVITA' DI PROCESSI DI DEPOSIZIONE DI STRATI SOTTILI SU UN SUBSTRATO E DISPOSITIVI GETTER PER LA REALIZZAZIONE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
ITMI990744(A1) |
申请公布日期 |
2000.10.12 |
| 申请号 |
IT1999MI00744 |
申请日期 |
1999.04.12 |
| 申请人 |
SAES GETTERS S.P.A. |
发明人 |
CONTE ANDREA;MAZZA FRANCESCO;MORAJA MARCO |
| 分类号 |
B01J19/00;C23C14/00;C23C14/54;C23C14/56;C23C16/44;F04B37/04 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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