发明名称 Verfahren zur Herstellung einer SOI-Transistor-DRAM
摘要
申请公布号 DE69329376(D1) 申请公布日期 2000.10.12
申请号 DE19936029376 申请日期 1993.12.23
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO. LTD., SUWON 发明人 PARK, KYUCHARN;LEE, YESEUNG;BAN, CHEONSU;LEE, KYUNGWOOK
分类号 H01L27/10;H01L21/8242;H01L23/52;H01L27/108;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/108;H01L21/82 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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