发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Polyphenolverbindung und positiv-arbeitende, Polyphenolverbindung enthaltende, Fotoresistzusammensetzung
摘要
申请公布号 DE69610149(D1) 申请公布日期 2000.10.12
申请号 DE1996610149 申请日期 1996.05.31
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 KODAMA, KUNIHIKO;MOMOTA, MAKOTO
分类号 C07C37/11;G03F7/022;(IPC1-7):C07C37/11;C07C39/15 主分类号 C07C37/11
代理机构 代理人
主权项
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