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发明名称 HERSTELLUNG EINES SOI SUBSTRATS
摘要
申请公布号 DE69425825(D1) 申请公布日期 2000.10.12
申请号 DE1994625825 申请日期 1994.06.30
申请人 HONEYWELL, INC. 发明人 SARMA, R.;LIU, S.
分类号 H01L27/12;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/3065;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76;H01L21/306 主分类号 H01L27/12
代理机构 代理人
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