ERZEUGUNG EINES GLEICHMÄSSIGEN IONENSTRAHLS GROSSER OBERFLÄCHE,申请号DE19976003031-传众专利搜索

发明名称	ERZEUGUNG EINES GLEICHMÄSSIGEN IONENSTRAHLS GROSSER OBERFLÄCHE
摘要
申请公布号	DE69703031(D1)	申请公布日期	2000.10.12
申请号	DE19976003031	申请日期	1997.02.14
申请人	AXCELIS TECHNOLOGIES, INC.	发明人	BLAKE, G.;PURSER, H.;BRAILOVE, A.;ROSE, H.;HUGHEY, J.
分类号	H01J27/14;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01J37/30	主分类号	H01J27/14
代理机构		代理人
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