| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES NICHTFLÜCHTIGEN SPEICHERBAUTEILS MIT ZWEI POLY-SCHICHTEN MITTELS EINER DRITTEN POLYSILIZIUM-SCHICHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69425797(D1) |
申请公布日期 |
2000.10.12 |
| 申请号 |
DE19946025797 |
申请日期 |
1994.01.26 |
| 申请人 |
ATMEL CORP., SAN JOSE |
发明人 |
LARSEN, J.;RANDAZZO, A.;ERICKSON, A. |
| 分类号 |
H01L21/8247;H01L27/105;H01L27/115;H01L29/78;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/265;H01L21/70;H01L21/02;H01L21/469;H01L21/82 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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