发明名称 Deposition of thin films by laser ablation
摘要
申请公布号 AUPR026100(D0) 申请公布日期 2000.10.12
申请号 AU2000PR00261 申请日期 2000.09.20
申请人 TAMANYAN, A.;TAMANYAN, G. 发明人
分类号 C23C14/06;C23C14/28;H01L21/314 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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