等离子体源

摘要

防止在发射的等离子体中包含高能量的电子。等离子体源2a配有电磁铁40(磁场发生装置),该电磁铁在等离子体室容器内,在与等离子体发射孔8的等离子体发射方向22交叉的方向上产生引起电子回旋共振的磁场B。

主权项

1.一种等离子体源，在导入微波的等离子体室容器内利用电子的回旋共振生成等离子体，从设置在等离子体室容器的前面部分的等离子体发射孔中发射该等离子体，其特征在于，配有磁场发生装置，该磁场发生装置在所述等离子体室容器内，在与所述等离子体发射孔的等离子体发射方向交叉的方向上产生引起所述电子回旋共振的磁场。