| 发明名称 |
Plasma source for low energy electron neutralization of ion beam |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2348738(A) |
申请公布日期 |
2000.10.11 |
| 申请号 |
GB20000002297 |
申请日期 |
2000.02.02 |
| 申请人 |
* NISSIN ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SHIGEKI * SAKAI;MASATO * TAKAHASHI |
| 分类号 |
G21K5/04;H01J37/317;H01J37/32;H01L21/265;H05H1/46;(IPC1-7):H01J37/02 |
主分类号 |
G21K5/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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