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发明名称 A METHOD AND SYSTEM FOR PROVIDING A TAPERED SHALLOW TRENCH ISOLATION STRUCTURE PROFILE
摘要
申请公布号 EP1042804(A1) 申请公布日期 2000.10.11
申请号 EP19980964141 申请日期 1998.12.18
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES INC. 发明人 PHAM, TUAN, D.;HUI, ANGELA, T.;SAHOTA, KASHMIR
分类号 H01L21/8247;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/762 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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