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发明名称 Laminate of a photoresist layer supporting film and photoresist
摘要
申请公布号 EP0809151(B1) 申请公布日期 2000.10.11
申请号 EP19970303214 申请日期 1997.05.12
申请人 TEIJIN LIMITED 发明人 KUDO, TAKAFUMI;YOSHIDA, TETSUO;MINAMIHIRA, YUKIHIKO;MASAOKA, KAZUTAKA;TANAKA, YOUJI;KIMURA, NORIYO
分类号 H05K3/46;G03F7/09;G03F7/16;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/09 主分类号 H05K3/46
代理机构 代理人
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