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发明名称 Vacuum operation apparatus
摘要
申请公布号 GB0020509(D0) 申请公布日期 2000.10.11
申请号 GB20000020509 申请日期 2000.08.18
申请人 NEC CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/302;B01J3/02;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52;H01J37/32;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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