微波等离子吹管

摘要

微波等离子吹管，包括：一具有抽真空装置的真空容器；一同轴波导，其包括一内导体、一外导体，该波导的第一端部分与微波供给装置连接，第二端部分与该空容器连接，由此将微波沿同轴波导的波导轴导入到真空容器中；一气体供给装置，用于沿多个喷射轴将气体喷入真空容器，在该微波等离子吹管中，至少多个喷射轴中的两个在第二端部分中不与波导轴相交，且不在垂直于波导轴的平面中，在第二端部分附近，内导体与外导体直径之比沿波导轴自第一端部分向第二端部分减小。

主权项

1、一种微波等离子吹管，包括：一个具有抽真空装置的真空容器；一个同轴波导，包括一个内导体，一个外导体，该同轴波导的第一端部分与供给微波的微波供给装置相连接，及该同轴波导的第二端部分与真空容器相连接，由此将从微波供给装置供给的微波沿同轴波导的波导轴导入到真空容器中；及一个气体供给装置，用于沿多个喷射轴将气体喷入真空容器：其特征在于：至少多个喷射轴中的两个在第二端部位置中相对于波导轴处于扭转位置上，并且不在垂直于波导轴的平面中，及在第二端部分附近，内导体直径与外导体直径之比沿波导轴自第一端部分向第二端部分减小。