发明名称 A semiconductor device having a metal barrier layer for a dielectric material having a high dielectric constant and a method of manufacture thereof
摘要
申请公布号 GB0020578(D0) 申请公布日期 2000.10.11
申请号 GB20000020578 申请日期 2000.01.11
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/316;H01L29/49 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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