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发明名称
摘要
申请公布号 JP3097636(B2) 申请公布日期 2000.10.10
申请号 JP19970328721 申请日期 1997.11.28
申请人 发明人
分类号 C23C14/00;C23C14/56;C23C16/44;H01J37/317;H01L21/00;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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