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发明名称
摘要
申请公布号
JP3096419(B2)
申请公布日期
2000.10.10
申请号
JP19960003912
申请日期
1996.01.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/203;H01S5/00;H01S5/227;(IPC1-7):H01S5/227
主分类号
H01L21/203
代理机构
代理人
主权项
地址
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