发明名称
摘要
申请公布号 JP3096419(B2) 申请公布日期 2000.10.10
申请号 JP19960003912 申请日期 1996.01.12
申请人 发明人
分类号 H01L21/203;H01S5/00;H01S5/227;(IPC1-7):H01S5/227 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
主权项
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