| 摘要 |
Es ist eine Bewegungssteuervorrichtung einer Schwingsonde eines Kontakttyps vorgesehen, wobei die Schwingsonde eines Kontakttyps als Sonde für eine Profilmessung und eine kontinuierliche Messeung verwendet und eine Gestaltung eines Werkstücks mit hoher Genauigkeit gemessen werden kann. Die Bewegungssteuervorrichtung zum Steuern einer Bewegung eines Haltekörpers (23), welcher eine Schwingsonde (100) eines Kontakttyps steuert, welche eine hohe Erfassungsgenauigkeit aufweist, umfaßt eine Schwingungsvorrichtung, um den Stift in Axialrichtung in Schwingung zu versetzen, einen Detektor (5) zum Erfassen einer Schwingung des Stifts durch die Schwingungsvorrichtung, eine zweite Schwingungsvorrichtung, um den Stift in einer Richtung annähernd parallel zu einer Stirnfläche des Werkstücks in Schwingung zu versetzen, und eine Steuervorrichtung (31) zum Steuern einer Bewegung des Haltekörpers (23), derart, daß eine Änderung der Zustandsgröße eines Erfassungssignals, erfaßt durch den Detektor, konstant ist.
|
