| 摘要 |
<p>본 고안은 벨트식 상압화학기상증착비의 웨이퍼 비상 언로딩장치에 관한 것으로, 로딩 카세트로부터 배출된 웨이퍼를 이송받는 로딩 스테이션과, 이 로딩 스테이션의 일측에 연결 설치되는 로딩 롤러와, 이 로딩 롤러의 측부에 설치되는 이송벨트와, 이 이송벨트의 상측에 설치되어 웨이퍼에 증착가스를 분사하는 인젝터와, 상기 이송벨트의 일측에 설치되어 이송벨트로부터 웨이퍼를 넘겨받는 언로딩 롤러와, 이 언로딩 롤러의 일측에 설치되는 언로딩 스테이션과, 상기 언로딩 롤러의 중간부에 설치되어 웨이퍼를 언로딩 스테이션으로 이송시키는 셔틀을 포함하여 구성된 벨트식 상압화학기상증착비에서, 상기 언로딩 롤러의 일측 수평선상에 언로딩 스테이션으로 언로딩되지 않은 웨이퍼들을 수납하는 비상 카세트를 설치하고, 상기 비상 카세트의 전방에는 웨이퍼가 카세트 내부로 완전히 유입되었는지를 감지하는 광센서를 설치하며, 상기 언로딩 롤러와 비상 카세트 사이에는 비상 카세트로 웨이퍼를 이송하는 웨이퍼 이송롤러를 설치하고, 상기 비상 카세트의 하측에는 상기 광센서의 감지 신호에 따라 비상 카세트를 승강시킬 수 있는 수단을 설치함으로써, 언로딩 셔틀의 이상 발생시에도 안정적으로 웨이퍼를 카세트에 적재하여 웨이퍼에 스크래치 등이 발생하는 것을 방지하게 된다.</p> |
