| 摘要 |
<p>본 고안은 순수가 채워져 있는 린스조와, 이 린스조의 일측에 설치되며 내부에 케미컬이 채워져 있는 수개의 케미컬조와, 상기 린스조 및 케미컬조로 튜브를 이송하기 위한 로봇암을 포함하여 구성되는 반도체 제조용 튜브 세정장비에 관한 것으로, 상기 케미컬조는 내부에 소정량의 케미컬을 담을 수 있도록 상면이 개구된 원통형의 케이스로서, 이 케이스의 내부 하측에 상기 로봇암에 의해 이송된 튜브를 파지하기 위한 튜브 홀더를 설치하여 하나의 로봇암으로 수개의 케미컬조에서 동시에 튜브의 세정작업을 실시하도록 함으로써 기존에 실시하던 세정작업에 비해 그 시간을 현저하게 단축함과 아울러 생산성을 향상시키게 된다.</p> |
